产品类别：气体质量流量计/流量控制器
产品型号：SFC4000

产品特点：

规格：
－高精度：设定点的0.8%(10%～100%满量程)
－超快响应：<100ms
－量程范围：0-0.05/0.5/2/5/20 ln/min
－数字化标定&温度补偿
－标准接口(0-5V)
－标准供电电压：24V
－标准的机械接口：G1/4”
－提供NIST-traceable标定证书

应用领域：
－分析仪器 －干刻（RIE/DRIE）
－生物技术 －气相色谱分析
－激光焊机 －过程自动化
－真空镀膜 －燃料电池

安装尺寸

105*28.5*91.20（mm）

应用领域：

下载资料：
SFC4000 数据手册